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LED图形化蓝宝石衬底纳米压印光刻生产线 下一条 上一条 < 返回

LED (n)PSS Cluster
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LED (n)PSS Cluster是一种专门为图形化蓝宝石衬底(PSS/nPSS)量产开发的纳米压印光刻生产线,可实现2、4、6英寸(n)PSS结构纳米压印工艺全自动生产。

该设备采用模块化设计,集成工作模具复制单元和纳米压印光刻生产单元。工作模具复制单元支持从晶圆级母模具表面自动复制柔性工作模具,工作模具具有精度高,寿命长等特点,可以显著降低大面积纳米压印量产中模具使用成本。纳米压印光刻生产单元支持工作模具自动更换,全自动上下片、压印、曝光、脱模,整个生产过程在密闭洁净环境中进行,以保证压印结果质量。

LED (n)PSS Cluster纳米压印光刻生产线专门为图形化蓝宝石衬底大规模量产细节优化,具有设计紧凑,占地面积小,全自动生产流程,稳定一致性好,多工位平行生产,产能高等特点。

主要功能

  • 全自动量产型LED图形化蓝宝石衬底(PSS/nPSS)纳米压印光刻生产线

  • 专门为(n)PSS大规模量产优化纳米压印工艺

  • 全自动复制柔性工作模具,自动更换,自动传送,降低大面积纳米压印模具使用成本

  • 模具复制内置精密自动点胶与旋涂功能

  • 工作模具可根据设定使用频率自动更换

  • 洁净机械手全自动上下片,双手指一取一放,提高效率

  • 8个cassette采用分区设计,安全互锁,可在生产状态下更换cassette,提高产能

  • 标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>1000mW/cm2 ,可选1000mW/cm2 光源),寿命优于3万*小时,水冷冷却,曝光时间控制精度优于0.1秒

  • 晶圆自动预对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模,整个生产过程在密闭洁净环境中进行

  • 占地面积小,产能高,4英寸可达240片每小时,6英寸可达200片每小时*

  • 随机提供全套纳米压印工艺与通线驻场服务,帮助客户零门槛达到国际领先的纳米压印水平

设备照片

npss cluster.jpg

相关参数

兼容基底尺寸

2inch、100mm、150mm特殊尺寸可定制

兼容母模具尺寸

100mm、150mm、200mm特殊尺寸可定制

上下片方式

Cassette to cassette全自动上下片

晶圆预对位

光学巡边预对位

纳米压印工艺

专门为LED (n)PSS大规模量产细节优化

紫外固化光源

紫外LED(365nm)面光源,光强>1000mW/cm2,水冷冷却(2000mW/cm2类型光源可选配)

设备内部环境控制

标配,外部环境class 100,内部环境优于Class 10*

自动压印

支持

自动脱模

支持

自动工作模具复制

支持

自动工作模具更换

支持

产能(WPH)

4英寸可达240片每小时*

6英寸可达200片每小时*


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