DOE

DOE作为结构光和dTOF方案3D传感模组中最关键的核心元件之一，越来越多的被应用到3D人脸识别、手机3D摄像头、深度感知等领域。

DOE是通过玻璃表面特定的纳米结构对激光产生衍射作用，可以将一束激光分散成为多束光。

DOE表面的纳米结构往往小于1微米，如果使用半导体行业的光刻刻蚀技术加工，设备及工艺成本都非常高。而用纳米压印代替传统的光刻刻蚀，可以实现低成本、高良率的大规模量产。

天仁微纳的GL8/12CLIV纳米压印设备以及GL300Clsuter纳米压印生产线，适用于DOE的研发与大规模量产。

工程匀光片（Diffuser）

Diffuser是iTOF式3D传感中最核心的光学元件。iTOF式3D传感具有体积小、测量距离远、受环境光影响小等优点，可以应用在手机、激光雷达、仓储物流、无人机、机器人、智慧家居、AR眼镜等领域。

Diffuser是通过玻璃表面的微透镜阵列来实现对光的整形，将一束点光源的激光大角度扩散成光强均匀的面型。

注塑精度低，材料耐温性不好，无法兼容 3D传感模组中的回流焊工艺。传统的半导体光刻刻蚀技术又很难加工透镜这种高度不一致的结构。纳米压印是最适合的Diffuser量产技术，精度高、材料耐温性好、设备及生产成本低、效率高。

天仁微纳的GL8MLA纳米压印设备，适用于Diffuser的大规模量产。