● 经过量产验证的200mm大面积、高精度、高深宽比纳米压印
● CLIV技术，确保压印结构精度与结构填充完整性
● 设备内自动复制柔性复合工作模具，降低大面积纳米压印模具使用成本
● 自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模，工艺过程无需人工干预
● 标配高功率紫外LED面光源（365nm，光强>1000mW/cm2 ），水冷冷却，特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制，完美支持各种商用纳米压印材料
● 标配设备内部洁净环境与除静电装置
● 随机提供全套纳米压印工艺与材料，包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构等工艺流程，帮助客户零门槛达到高质量的纳米压印水平