产品&服务

最新(产品)活动

最新消息

热烈庆祝天仁微纳NTS Center投入使用

择良辰选吉日,2024年5月20日上午10点16分,天仁微纳纳米压印中试平台一期(NTS Center - Nanoimprint Total Solution Center)百级超净间启用仪式圆满举行!纳米压印中试平台(一期)超净间面积约1600平,包括百级、千级和万级等级,设备近百台,总投资数亿元。设备包含30多台天仁微纳自产各种型号的纳米压印设备,压印种类从热压印、transfer Printing到紫外压印,压印方式从辊压到面压到SR步进式压印,基材尺寸包含wafer pieces到2/3/4/6/8/12寸,面板级G2和G5尺寸,设备类型包含手动上下片、cassette to cassette自动上下料设备,以及包含从晶圆清洗、plasma处理、涂胶、热处理、自动复制工作模具、自动对位、压印、固化、脱模等全工序流程的纳米压印cluster生产线设备(3台);
除此之外,各种压印工艺配套、表征设备齐全,包括晶圆全自动RCA、有机清洗、Plasma、HMDS、模具抗粘处理等预处理设备,各种涂胶设备spin-coating半自动设备8台,全自动3台,ink jet printing,slot die coating,slit coating、微透镜自动点胶等设备;纳米压印模具制造设备包含电子束光刻、激光直写、mask aligner、激光干涉曝光、ICP、RIBE、去胶机、ALD、电铸翻模、晶圆键合等;表征设备包括SEM、AFM、共聚焦、FIB、椭偏仪、膜厚仪、台阶仪、水滴角测试仪等;
天仁微纳NTS Center应该是目前全球范围内纳米压印细分领域设备和配套工艺设备最全的中试平台,天仁微纳在该平台配备超过50位资深工艺工程师为客户提供技术支持、材料knowhow以及项目经验,该中试平台的目标是让客户以极低的成本将使用纳米压印相关技术的创新产品想法在该平台得以实现,从prototype到产品中试,验证天仁微纳纳米压印设备性能,为客户未来的产品量产打通最后一公里。

查看更多

应用领域

LED/OLED

医疗、生物、半导体、太阳能、传感器、MEMs/NEMs等领域

3D传感

模具加工难度高(大尺度灰度光刻)
大片压印均匀性要求(TTV控制)
压印对准精度控制

AR/VR

Oblique tooth grating, blazed grating
Rectangular grating, two-dimensional grating
Large area nano imprint mold splicing (Step&Repeat NIL)

显示领域

Large format WGP
Naked eye 3D microlens array

生物芯片

纳米孔、纳米柱、微纳流道等

其它应用

医疗、生物、半导体、太阳能、传感器、MEMs/NEMs等领域

新闻中心

纳米压印光刻领头羊天仁微纳获数千万元战略投资,加速布局微纳光学市场2023-05-12

据麦姆斯咨询报道,近日,青岛天仁微纳科技有限责任公司(以下简称“天仁微纳“)宣布完成由中芯聚源独家战略投资的数千万元A轮融资。本轮融资将用于加快公司用于微纳光学等领域纳米压印设备和解决方案的研发和布局,完善售后服务,进一步扩大市场领先优势。

珑璟光电正式发布衍射光波导模组2021-06-11

深圳珑璟光电科技有限公司(简称:珑璟光电)发布衍射光波导,产品型号名为LCE2104H。这是继今年年初推出视场角40度光栅波导样品并宣告其光栅波导产品进入产品迭代设计以及量产化准备阶段之后的第一款量产产品。

“大咖云集 精彩纷呈”天仁微纳&CIOE 2023圆满落幕2023-09-12

2023年9月6日-8日,第24届中国国际光电博览会CIOE2023(以下简称“深圳光博会”)在深圳国际会展中心(宝安新馆)盛大举行,现场汇聚了全球众多优秀光学企业参展,吸引了行业内各类专业人士的参观。

展会及会议预告

SEMICON 台湾 2024

SEMICON 台湾将在2024年9月4-6日于台北举办。

查看详情

第25届中国国际光电博览会(CIOE 2024)

第二十五届中国国际光电博览会(CIOE中国光博会)将于2024年9月11-13日在深圳国际会展中心举办。

查看详情

NNT (2024) NIL Industrial Day

天仁微纳将参加6月24-27日在瑞典隆德举办的NNT (2024) NIL Industrial Day

查看详情

第十五届光电子产业博览会

天仁微纳将参加7月24-26日在北京举办的第十五届光电子产业博览会。

查看详情