应用领域:AR/VR  

随着5G的到来,增强现实(AR)眼镜的应用场景会越来越多,比如社交媒体、通信、导航、家庭、旅游、医疗和工业等。作为一个新兴产业, AR市场具有巨大的增长潜力。

在众多AR镜片方案中,浮雕光栅可以将镜片做的最轻薄,而且有成熟的量产工艺,因此被认为是最有希望成为消费级产品的方案。

所谓浮雕光栅就是在玻璃片上制作一层纳米级的光栅结构,用来实现所需的光波导效果。如果使用光刻刻蚀或者机加工的方法来加工这些纳米级光栅,成本会非常高,时间也会很长。纳米压印是唯一可以实现低成本,高效率量产的加工技术。

AR浮雕光栅对加工设备的要求很高,比如加工精度、均匀性、可重复性、良率等。针对AR浮雕光栅镜片,天仁微纳的GL8/12CLIV纳米压印设备以及GL300Clsuter纳米压印生产线适合浮雕衍射光波导的研发与大规模生产。


因为生产效率和成本的原因,AR浮雕衍射光波导生产通常需要使用12英寸玻璃基材进行生产。原始的纳米压印模具需要使用电子束光刻和刻蚀等生产效率很低的方式制造,通常制造一个AR镜片所需的纳米压印模具,电子束光刻就需要连续运行3-5天时间完成,12英寸面积上通常可以排布20到30个AR镜片,使用电子束直写制造12寸的纳米压印模具很显然是不现实的。天仁微纳的步进式纳米压印设备GL SR300为AR衍射光波导的生产提供了模具拼接可能性,可以使用一个镜片的纳米压印模具在12英寸基材上采用步进式压印的方式压印20至30次,然后使用这个12英寸的压印片作为纳米压印的原始模具进行12英寸幅面的全幅压印生产,可以大大提高衍射光波导的生产效率,并大幅降低模具成本,为大规模量产提供了可能性。

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