GL300 MLA是天仁微纳最新型专门为晶圆级光学加工(WLO-Wafer Level Optics)开发的全自动紫外纳米压印光刻设备,可在200/300 mm基底面积上平行复制生产聚合物光学器件。
该设备支持cassette to cassette自动上下片、自动复制柔性复合工作模具,工作模具自动更换。整个工艺过程在密闭洁净环境中进行,以保证压印结果质量。内置的高精度自动点胶系统、APC(主动模具基底平行控制)技术、以及自动脱模功能都保证了大面积晶圆级光学生产的精度、均匀性(TTV)与良率。同时,自动模具基底对位系统还可实现晶圆之间对位堆叠工艺(WLS-Wafer Level Stacking)。
GL300 MLA纳米压印设备适用于DOE、匀光片(Diffuser)、微透镜阵列、菲涅尔透镜等产品的研发和量产。