全自动纳米压印光刻预处理设备 下一条上一条 < 返回

GL6/12 PreNIL
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主要功能

●全自动纳米压印光刻基底预处理

●机械手自动上下片,包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能

●毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗

●旋涂匀胶,包含自动供胶系统、EBR、BSR等功能

热板烘烤、冷板冷却功能




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