桌面型纳米压印设备 下一条上一条 < 返回

UniPrinter
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UniPrinter是一种专门为大学、科研院所和企业产品研发所设计,功能强大的台面型纳米压印光刻设备。可实现4英寸以下基底面积上高精度(优于10nm )、高深宽比(优于10比1 )纳米结构压印,适合用作紫外纳米压印光刻工艺开发,器件原型快速验证,纳米压印材料测试等研发。它沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,在UniPrinter上开发的工艺可以无障碍转移到量产设备上进行生产。
UniPrinter纳米压印设备适用于DOE、AR/VR衍射光波导(包括斜齿光栅)、生物芯片、LED等应用领域的研发。

主要功能

● 沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,开发的工艺可以无障碍转移到量产设备上进行生产

● 4英寸以下面积高精度、高深宽比纳米压印

● 设备内自动复制柔性复合工作模具

● 自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程无需人工干预

● 标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>300mW/cm2 ),完美支持各种纳米压印材料

● 随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构等工艺流程,帮助客户零门槛达到国际领先的纳米压印水平

相关照片

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相关参数

兼容基底尺寸 直径≤4英寸
支持基底材料 硅片、玻璃、石英、塑料、金属等
纳米压印技术 适合高精度、高深宽比纳米结构压印
压印精度 优于10纳米*
结构深宽比 优于10比1*
残余层控制 可小于10nm*
紫外固化光源 紫外LED(365nm)面光源,光强>300mW/cm2
自动压印 支持
自动脱模 支持
自动工作模具复制 支持
模具基底对位功能 选配


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