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天仁微纳可根据客户需求,定制纳米压印原始模具。根据结构尺寸和形貌,纳米压印原始模具的加工方法有电子束直写、激光直写、光刻、刻蚀、电镀、机加工等。

图中AR衍射光波导结构为激光直写设备所制作

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