GL Spin+HP 匀胶+热板 下一条上一条 < 返回

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主要功能

●适用于最大300mm直径以下圆片或者9英寸方片旋涂匀胶与烘烤工艺

●最大转速5000rpm

●自动供胶系统、EBR、BSR

●气流控制保证旋涂均匀性

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