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GL MegaClean
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主要功能

●基材尺寸最大300mm直径以下圆片或者9英寸方片

●单片扫描式毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗

●适用于清洗纳米压印基材表面

●适用于母模具表面无损清洗

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