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GL Plasma
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主要功能

●适用于最大300mm直径以下晶圆或者330×400mm基材（软工作模具基材）

●适用于清洗纳米压印基底表面

●适用于纳米压印基底表面增粘、激活、改性

●适用于增加工作模具基材与模具复制材料粘附性

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