GL SR300是一种步进式紫外纳米压印设备,可以在300mm尺寸基底上加工精度优于20纳米的三维结构,还可以用于将小面积纳米压印模具通过步进式压印拼接成大面积压印母模具。
通常纳米压印模具的加工需要利用先进的电子束或者激光直写技术、刻蚀技术等,加工大面积纳米压印母模具成本极其高昂,技术可行性很低。通过GL SR300步进式纳米压印技术可以将小面积纳米压印模具拼接成大面积纳米压印母模具,然后从大面积母模具可以复制大面积工作模具,用来进行大幅面压印。这种方式可以大大降低纳米压印模具成本,使得低成本纳米压印生产成为可能。