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天仁微纳新品发布——Uni系列研发型Desktop设备 < 返回

2021-03-05

明星新品——“UniPrinter

UniPrinter设备图

UniPrinter是一种专门为大学、科研院所和企业产品研发所设计,功能强大的台面型纳米压印光刻设备。可实现4英寸以下基底面积上高精度(优于10nm )、高深宽比(优于101 )纳米结构压印,适合用作紫外纳米压印光刻工艺开发,器件原型快速验证,纳米压印材料测试等研发。

它沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,在UniPrinter上开发的工艺可以无障碍转移到量产设备上进行生产。

UniPrinter纳米压印设备适用于DOEAR/VR衍射光波导(包括斜齿光栅)、生物芯片、LED等应用领域的研发。

Uni系列其他研发型Desktop设备

HoLoPrinter



HoLoPrinter设备图

HoLoPrinter是一种桌面型辊对版压印设备,最大压印面积105*148mm,辊对版或者辊压薄膜模式,压印速度可达8m/min,简单易用。

UniCoater


UniCoater设备图

UniCoater是一种桌面型匀胶设备,最大可旋涂8英寸或者6英寸方片最高转速可达9000rpm(选配),操作简单、可靠稳定。

UniHotplate


UniHotplate设备图

UniHotplate是一种桌面型热板最大可烘烤8英寸或者6寸方片温度设定20℃~250℃,温度设定精度1℃。



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